一、荧光光谱仪优点

1、分析速度快。 测量时间与测量精度有关，但一般很短，2～5分钟即可测完样品中所有待测元素。

2、荧光光谱与样品的化学键合状态无关，与固体、粉末、液体、结晶、无定形等物质的状态基本无关。  （气体即使密封在容器中也可以进行分析，但在高分辨率精密测量中，可以观察到波长变化。这种效果尤其在超软 X 射线范围内更为明显。波长变化用于测定 化学势。

3、无损分析。 测量过程中化学状态不发生变化，不发生样品散射现象。 同一个样品可以重复测量，结果具有重现性。

4、X射线荧光分析是一种物理分析方法，因此也可以分析属于同一族的元素的化学性质。

5、分析精度高。

6、样品制备简单，可分析固体、粉末和液体样品。

二、荧光光谱仪的缺点

1、分析难度大，定量分析需要标准样品。

2、对轻元素的敏感性较低。

3、易受元素相互干扰和叠加峰的影响。