由于X射线管产生入射X射线(初级X射线)来激发被测样品。被激发样品中的每个元素都会发出次级X射线，不同元素发出的次级X射线具有特定的能量特征或波长特征。探测系统测量这些发射的次级X射线的能量和数量。然后，仪器软件将检测系统采集的信息转换成样品中各种元素的种类和含量。在X射线荧光光谱仪的技术原理中，我们有更多关于X射线荧光光谱仪如何完成ROHS受控元素的分析的信息。

用X射线荧光光谱仪来进行RoHS检测有以下优点！

1.分析速度快

测量时间与测量精度有关，但一般很短，以便快速测量样品中的Pb、Cd、Cr、Hg、Br、Cl及待测元素。

2.X射线荧光光谱与样品的化学结合状态无关。

x射线荧光光谱与样品的化学键状态无关，基本上与固体、粉末、液体、结晶和无定形物质的状态无关。(气体密封在容器中可以分析。)然而，在高分辨率精密测量中可以看到波长变化的现象。尤其是在超软X射线范围内，这种效应更加明显。波长的变化用于化学势的测定。

3.化学状态的变化

无损分析不会引起测定中化学状态的变化，样品也不会散开。同一样品可重复测量，结果具有良好的重现性。

4.物理分析方法

x射线荧光分析是一种物理分析方法，因此在化学性质上属于同一家族的元素也可以进行分析。

5.分析精度高。

样品制备简单，可分析固体、粉末和液体样品。